气体名称

规格

主要用途

气体纯度%

气体装量

钢瓶体积/L

阀门型号

氮

N6.0

13MPa

40

G5/8

在电子工业中氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。

N6.0

13MPa

40

CGA580

N6.0

13MPa

40

CGA540

纯氮、氮、氮（GB/T8979-2008)

项目名称

指标

氮

氮

纯氮

氮气（N2)的体积分数/10-2  

99.9999

99.999

99.99

氧气（O2)的体积分数/10-6   

0.1

3

50

氩（Ar）的体积分数/10-6    

2

—

—

 氢气（H2)的体积分数/10-6  

0.1

1

15

 一氧化碳（CO)的体积分数/10-6  

0.1

1

5

二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6  

0.1

1

10

甲烷（CH4)的体积分数/10-6  

0.1

1

5

水分/10-6

0.5

3

15

注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。