产品规格:
规 格 |
纯 度(%) |
不纯物浓度(v/v) |
||||
N2 |
O2 |
H2 |
THC |
H2O |
||
高 纯 |
99.999 |
≤5 |
≤2 |
≤1 |
≤2 |
≤4 |
纯 氩 |
99.99 |
≤70 |
≤10 |
≤5 |
≤5 |
≤20 |
包 装:通常采用40升钢瓶(12~15MPa),也可根据客户需要,分装到2~10升的气瓶(10MPa)中。 |
执行标准:
氩GB/T10624-1995、纯氩GB/T4842-1995、液氩GB10624-89以及企业标准
产品特点及用途:
氩气无毒、无色、无嗅、不能燃烧也不助燃,是一种惰性气体。主要用于用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作标准气、平衡气、零点气等。
安全:
氩的使用、运输和储存应符合《气瓶安全监察规程》和《危险货物运输规则》的规定。返回空氩气钢瓶内部压力应有约0.2MPa的压力。它可置换空气中的氧气,容易造成窒息。液氩属于低温液体,应防止冻伤。